Nd:YAG高調波レーザによる窒化アルミニウムの加工特性評価

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)725-729
Number of pages5
Journal精密工学会誌
Volume72
Issue number(6)
Publication statusPublished - 2006

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Nd:YAG高調波レーザによる窒化アルミニウムの加工特性評価. / Okamoto, Yasuhiro.

In: 精密工学会誌, Vol. 72, No. (6), 2006, p. 725-729.

Research output: Contribution to journalArticle

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TY - JOUR

T1 - Nd:YAG高調波レーザによる窒化アルミニウムの加工特性評価

AU - Okamoto, Yasuhiro

PY - 2006

Y1 - 2006

M3 - Article

VL - 72

SP - 725

EP - 729

JO - 精密工学会誌

JF - 精密工学会誌

IS - (6)

ER -