過配化ポリタングステン酸素無機レジストの走紫外光照射による構造変化

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)1041-1046
Number of pages6
Journal日本化学会誌
Volume9
Publication statusPublished - 1993

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過配化ポリタングステン酸素無機レジストの走紫外光照射による構造変化. / Kishimoto, Akira.

In: 日本化学会誌, Vol. 9, 1993, p. 1041-1046.

Research output: Contribution to journalArticle

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TY - JOUR

T1 - 過配化ポリタングステン酸素無機レジストの走紫外光照射による構造変化

AU - Kishimoto, Akira

PY - 1993

Y1 - 1993

M3 - Article

VL - 9

SP - 1041

EP - 1046

JO - 日本化学会誌

JF - 日本化学会誌

ER -