負イオン注入における絶縁物からの放出二次電子の測定

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)796-796
Number of pages1
Journal真空
Volume38
Issue number9
Publication statusPublished - 1995

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負イオン注入における絶縁物からの放出二次電子の測定. / Toyota, Yoshitaka.

In: 真空, Vol. 38, No. 9, 1995, p. 796-796.

Research output: Contribution to journalArticle

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TY - JOUR

T1 - 負イオン注入における絶縁物からの放出二次電子の測定

AU - Toyota, Yoshitaka

PY - 1995

Y1 - 1995

M3 - Article

VL - 38

SP - 796

EP - 796

JO - 真空

JF - 真空

IS - 9

ER -