| Original language | Japanese |
|---|---|
| Pages (from-to) | 179-186 |
| Number of pages | 8 |
| Journal | トライボロジスト |
| Volume | 58 |
| Issue number | 3 |
| Publication status | Published - 2013 |
Cite this
Kinoshita, H. (2013). 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―. トライボロジスト, 58(3), 179-186.
希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―. / Kinoshita, Hiroshi.
In: トライボロジスト, Vol. 58, No. 3, 2013, p. 179-186.Research output: Contribution to journal › Article
Kinoshita, H 2013, '希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―', トライボロジスト, vol. 58, no. 3, pp. 179-186.
Kinoshita H. 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―. トライボロジスト. 2013;58(3):179-186.
@article{c7089de535154d488f72e724767c4961,
title = "希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―",
author = "Hiroshi Kinoshita",
year = "2013",
language = "Japanese",
volume = "58",
pages = "179--186",
journal = "トライボロジスト",
number = "3",
}
TY - JOUR
T1 - 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―
AU - Kinoshita, Hiroshi
PY - 2013
Y1 - 2013
M3 - Article
VL - 58
SP - 179
EP - 186
JO - トライボロジスト
JF - トライボロジスト
IS - 3
ER -