希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―

Hiroshi Kinoshita

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)179-186
Number of pages8
Journalトライボロジスト
Volume58
Issue number3
Publication statusPublished - 2013

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TY - JOUR

T1 - 希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―

AU - Kinoshita, Hiroshi

PY - 2013

Y1 - 2013

M3 - Article

VL - 58

SP - 179

EP - 186

JO - トライボロジスト

JF - トライボロジスト

IS - 3

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