希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―

Hiroshi Kinoshita

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title = "希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜，窒化物薄膜，酸化物／窒化物複合薄膜―",

author = "Hiroshi Kinoshita",

year = "2013",

language = "Japanese",

volume = "58",

pages = "179--186",

journal = "トライボロジスト",

number = "3",

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