希土類酸化物薄膜の新規な創製法の確立とそのトライボロジー特性(第3報)―スカンジウム酸化物薄膜,窒化物薄膜,酸化物/窒化物複合薄膜―

Hiroshi Kinoshita

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)179-186
Number of pages8
Journalトライボロジスト
Volume58
Issue number3
Publication statusPublished - 2013

Cite this