単結晶シリコンインゴットの高能率貫通穴放電加工に関する研究(共著)

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)1725-1729
Number of pages5
Journal精密工学会誌
Volume63
Issue number12
Publication statusPublished - 1997

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単結晶シリコンインゴットの高能率貫通穴放電加工に関する研究(共著). / Okada, Akira.

In: 精密工学会誌, Vol. 63, No. 12, 1997, p. 1725-1729.

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TY - JOUR

T1 - 単結晶シリコンインゴットの高能率貫通穴放電加工に関する研究(共著)

AU - Okada, Akira

PY - 1997

Y1 - 1997

M3 - Article

VL - 63

SP - 1725

EP - 1729

JO - 精密工学会誌

JF - 精密工学会誌

IS - 12

ER -