単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法(共著)

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)14-21
Number of pages8
Journal電気加工学会誌
Volume34
Issue number75
Publication statusPublished - 2000

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単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法(共著). / Okada, Akira.

In: 電気加工学会誌, Vol. 34, No. 75, 2000, p. 14-21.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{726c9ace5aad4e0bad123ade6ea790f4,
title = "単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法(共著)",
author = "Akira Okada",
year = "2000",
language = "Japanese",
volume = "34",
pages = "14--21",
journal = "電気加工学会誌",
publisher = "電気加工学会",
number = "75",

}

TY - JOUR

T1 - 単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法(共著)

AU - Okada, Akira

PY - 2000

Y1 - 2000

M3 - Article

VL - 34

SP - 14

EP - 21

JO - 電気加工学会誌

JF - 電気加工学会誌

IS - 75

ER -