単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)14-21
Number of pages8
Journal電気加工学会誌
Volume34
Issue number(75)
Publication statusPublished - 2000

Cite this

単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法. / Okada, Akira.

In: 電気加工学会誌, Vol. 34, No. (75), 2000, p. 14-21.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{e5c6349513244f07b4148a0c2ab1cc8b,
title = "単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法",
author = "Akira Okada",
year = "2000",
language = "Japanese",
volume = "34",
pages = "14--21",
journal = "電気加工学会誌",
publisher = "電気加工学会",
number = "(75)",

}

TY - JOUR

T1 - 単結晶シリコンインゴットの放電スライシング法

AU - Okada, Akira

PY - 2000

Y1 - 2000

M3 - Article

VL - 34

SP - 14

EP - 21

JO - 電気加工学会誌

JF - 電気加工学会誌

IS - (75)

ER -