単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究(共著)

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)1459-1464
Number of pages6
Journal精密工学会誌
Volume63
Issue number10
Publication statusPublished - 1997

Cite this

単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究(共著). / Okada, Akira.

In: 精密工学会誌, Vol. 63, No. 10, 1997, p. 1459-1464.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{4175b351056648e2ad199cbcf1372263,
title = "単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究(共著)",
author = "Akira Okada",
year = "1997",
language = "Japanese",
volume = "63",
pages = "1459--1464",
journal = "精密工学会誌",
number = "10",

}

TY - JOUR

T1 - 単結晶シリコンの放電加工に関する基礎的研究(共著)

AU - Okada, Akira

PY - 1997

Y1 - 1997

M3 - Article

VL - 63

SP - 1459

EP - 1464

JO - 精密工学会誌

JF - 精密工学会誌

IS - 10

ER -