単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究(共著)

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)9-16
Number of pages8
Journal電気加工学会誌
Volume30
Issue number65
Publication statusPublished - 1996

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単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究(共著). / Okada, Akira.

In: 電気加工学会誌, Vol. 30, No. 65, 1996, p. 9-16.

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TY - JOUR

T1 - 単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究(共著)

AU - Okada, Akira

PY - 1996

Y1 - 1996

M3 - Article

VL - 30

SP - 9

EP - 16

JO - 電気加工学会誌

JF - 電気加工学会誌

IS - 65

ER -