キャビテーション援用加工の基礎的研究 ―ガラス表面の超精密基礎加工現象―

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)2000-2004
Number of pages5
Journal精密工学会誌
VolumeVol.67
Issue numberissue 12
Publication statusPublished - 2001

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キャビテーション援用加工の基礎的研究 ―ガラス表面の超精密基礎加工現象―. / Oohashi, Kazuhito.

In: 精密工学会誌, Vol. Vol.67, No. issue 12, 2001, p. 2000-2004.

Research output: Contribution to journalArticle

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TY - JOUR

T1 - キャビテーション援用加工の基礎的研究 ―ガラス表面の超精密基礎加工現象―

AU - Oohashi, Kazuhito

PY - 2001

Y1 - 2001

M3 - Article

VL - Vol.67

SP - 2000

EP - 2004

JO - 精密工学会誌

JF - 精密工学会誌

IS - issue 12

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