エアジェットによる付着微粒子除去効果に対する除去対象表面走査の影響

Jun Oshitani

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)690-696
Number of pages7
Journal粉体工学会誌
Volume45
Issue number10
Publication statusPublished - 2008

Cite this

エアジェットによる付着微粒子除去効果に対する除去対象表面走査の影響. / Oshitani, Jun.

In: 粉体工学会誌, Vol. 45, No. 10, 2008, p. 690-696.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{cb5a0234d74f4972b98333e7f2c70eeb,
title = "エアジェットによる付着微粒子除去効果に対する除去対象表面走査の影響",
author = "Jun Oshitani",
year = "2008",
language = "Japanese",
volume = "45",
pages = "690--696",
journal = "粉体工学会誌",
number = "10",

}

TY - JOUR

T1 - エアジェットによる付着微粒子除去効果に対する除去対象表面走査の影響

AU - Oshitani, Jun

PY - 2008

Y1 - 2008

M3 - Article

VL - 45

SP - 690

EP - 696

JO - 粉体工学会誌

JF - 粉体工学会誌

IS - 10

ER -