イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)221-223
Number of pages3
Journal真空
Volume38
Issue number3
Publication statusPublished - 1995

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イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定. / Toyota, Yoshitaka.

In: 真空, Vol. 38, No. 3, 1995, p. 221-223.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{0bb5d4fc58074db3ace2a4e9833bdfec,
title = "イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定",
author = "Yoshitaka Toyota",
year = "1995",
language = "Japanese",
volume = "38",
pages = "221--223",
journal = "真空",
number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定

AU - Toyota, Yoshitaka

PY - 1995

Y1 - 1995

M3 - Article

VL - 38

SP - 221

EP - 223

JO - 真空

JF - 真空

IS - 3

ER -