イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定

Research output: Contribution to journalArticle

Original languageJapanese
Pages (from-to)139-142
Number of pages4
Journal真空
Volume37
Issue number3
Publication statusPublished - 1994

Cite this

イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定. / Toyota, Yoshitaka.

In: 真空, Vol. 37, No. 3, 1994, p. 139-142.

Research output: Contribution to journalArticle

@article{ef26316c7d4248c082b036734993d3b9,
title = "イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定",
author = "Yoshitaka Toyota",
year = "1994",
language = "Japanese",
volume = "37",
pages = "139--142",
journal = "真空",
number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定

AU - Toyota, Yoshitaka

PY - 1994

Y1 - 1994

M3 - Article

VL - 37

SP - 139

EP - 142

JO - 真空

JF - 真空

IS - 3

ER -